選擇靶材種類、材質(zhì)和氣體(氮?dú)狻⒀鯕?、乙炔、甲烷、氬氣?,確定靶材及氣體種類,然后調(diào)整氣體比例、用量、濺射功率、濺射時(shí)間、基材處理溫度、濺射溫度、濺射時(shí)間等工藝參數(shù),制備出顏色膜層,廣泛應(yīng)用于裝飾性鍍膜行業(yè).
靶材膜層顏色可調(diào)的PVD鍍膜方法
1、鍍金屬膜層,將待鍍產(chǎn)品傳入裝有金屬靶材的鍍膜腔室,開(kāi)啟泵抽真空及加熱裝置進(jìn)行基底加熱,使得本底真空達(dá)到1×10-3Pa 及達(dá)到80-150℃工藝溫度后,向腔室通入10-1000sccm的氬氣,啟動(dòng)濺射電源,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間10-300S,得到厚度為1-100nm的金屬膜層,金屬膜層為銅(Cu)、銀(Ag)、鋁(Al)、鉻(Cr)等金屬膜層,或鎳銅(NiCu)、鎳鉻(NiCr)等合金膜層;
2、鍍低折射率膜層,將鍍完金屬膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成低折射率膜層的靶材鍍膜腔室,加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度,向腔室通入工藝氣體,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間1-300S,得到厚度為1-100nm的低折射率膜層,此低折射率膜層為氧化硅、氮化硅等膜層;
3、鍍高折射率膜層,將鍍完低折射率膜層的產(chǎn)品傳入裝有可形成高折射率膜層的靶材鍍膜腔室,加熱達(dá)到80-150℃的工藝溫度,向腔室通入工藝氣體,設(shè)置濺射功率1-15KW,鍍膜時(shí)間1-300S,得到厚度為1-100nm的高折射率膜層,所述高折射率膜層為氧化鈦、氮化鈦、氧化鋯、氮化鋯、氧化鈮、氮化鈮、氧化鋅、氧化銦、氧化鋁、氧化鐵、氧化鉻、氮化鉻等膜層,此高低折射膜層的工藝氣體為Ar、N2、O2中的至少一種,其中Ar氣體流量為10-1000sccm,N2氣體流量為10-1000sccm,O2氣體流量為10-1000sccm;
4、重復(fù)步驟二和步驟三數(shù)次,得到不同顏色的膜層,重復(fù)步驟二和步驟三的次數(shù)為1-100次.
以下是PVD真空鍍膜裝飾薄膜常用材料及其常用氣體制作的各類裝飾顏色涂層:
鋯靶+氮?dú)?黃綠調(diào)金黃色
鋯靶+甲烷:深淺黑色
鋯靶+氧氣:白色、透明膜
鋯靶+氮?dú)?甲烷:金色、仿玫瑰金
鉻靶+甲烷:深淺黑色
鉻靶+氮?dú)?淺黑色
鉻靶+氮?dú)?甲烷:銀灰色
鉻靶+氧氣:輕黃色、紫色、綠色
鉻靶+氧氣:銀色
不銹鋼靶+氧氣:紫色
不銹鋼靶+氮?dú)?藍(lán)色
不銹鋼靶+甲烷:亮黑色
不銹鋼靶+甲烷+氮?dú)?藍(lán)黑色
硅靶+氮?dú)?黑色
硅靶+氧氣:混濁白、透明膜
硅靶+甲烷:黃色、綠色、藍(lán)色、黑色(靶材純度高于99%僅能調(diào)黑色)鈦靶+氧氣:光學(xué)膜七彩截色.
鈦靶+甲烷:深淺黑色( DLC制備不能達(dá)標(biāo))
鈦靶+氮?dú)?仿金色、黃銅色、紫色、紅色
鈦靶+氮?dú)?甲烷:仿玫瑰金、黑綠色、復(fù)古黃、棕色、紫色鎢靶+氮?dú)?棕黃色鎢靶+甲烷:深淺黑色
鎢靶+氧氣:紫色,鮮黃色,棕色,藍(lán)色.
